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| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司 | 流通A股 | 8000.00 | 5.42 | 0.00 |
| 2 | 深圳市远致富海投资管理有限公司-深圳远致富海十一号投资企业(有限合伙) | 流通A股 | 4269.74 | 2.89 | 0.00 |
| 3 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 1346.74 | 0.91 | 667.35 |
| 4 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 1178.19 | 0.80 | 617.11 |
| 5 | 中国建设银行股份有限公司-信澳新能源产业股票型证券投资基金 | 流通A股 | 720.51 | 0.49 | 174.55 |
| 6 | 广发证券股份有限公司-鹏华上证科创板100交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 378.16 | 0.26 | -32.43 |
| 7 | 国泰海通证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 375.52 | 0.25 | 7.51 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 340.12 | 0.23 | -512.57 |
| 9 | 中国银行股份有限公司-易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 324.24 | 0.22 | |
| 10 | 曾剑明 | 流通A股 | 301.17 | 0.20 | 185.38 |
| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 浙江巨化股份有限公司 | 流通受限股份 | 39000.00 | 26.40 | 0.00 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通受限股份 | 39000.00 | 26.40 | 0.00 |
| 3 | 衢州恒芯企业管理合伙企业(有限合伙) | 流通受限股份 | 10795.70 | 7.31 | 0.00 |
| 4 | 衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司 | 流通A股 | 8000.00 | 5.42 | 0.00 |
| 5 | 深圳市远致富海投资管理有限公司-深圳远致富海十一号投资企业(有限合伙) | 流通A股 | 4269.74 | 2.89 | 0.00 |
| 6 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 1346.74 | 0.91 | 667.35 |
| 7 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 1178.19 | 0.80 | 617.11 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司-信澳新能源产业股票型证券投资基金 | 流通A股 | 720.51 | 0.49 | 174.55 |
| 9 | 广发证券股份有限公司-鹏华上证科创板100交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 378.16 | 0.26 | |
| 10 | 国泰海通证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 375.52 | 0.25 | -250.42 |
| 截止：2026-03-31 | |||
|---|---|---|---|
| 机构类型 | 家数 | 合计持股数(万股) | 合计持股占比 |
| 其他流通股 | 129970.49 | 87.98 | |
| 基金 | 10 | 12846.09 | 8.70 |
| 一般法人 | 3 | 4911.02 | 3.32 |
| 报告期 | 持仓数量（万股） | 占总股本比例(%) | 占流通股比例(%) | 持仓增减(万) |
|---|---|---|---|---|
| 2026-03-31 | 17757.11 | 12.02 | 30.13 | -0.24 |
| 2025-12-31 | 23280.43 | 15.76 | 39.50 | 3.50 |
| 2025-09-30 | 17834.18 | 12.07 | 30.26 | -0.18 |
| 2025-06-30 | 23130.50 | 15.66 | 40.04 | 3.40 |
| 2025-03-31 | 18105.11 | 12.26 | 31.34 | -4.17 |
| 2024-12-31 | 18450.12 | 12.49 | 31.94 | -3.94 |
| 2024-09-30 | 24269.33 | 16.43 | 42.01 | 14.79 |
| 2024-06-30 | 2423.99 | 1.64 | 8.60 | 0.90 |
| 2024-03-31 | 1087.25 | 0.74 | 3.86 | -0.13 |
| 2023-12-31 | 1281.33 | 0.87 | 4.90 | -0.23 |
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