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| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 2057.11 | 10.16 | -512.20 |
| 2 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 550.47 | 2.72 | -19.94 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 292.70 | 1.45 | 0.00 |
| 4 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 流通A股 | 260.89 | 1.29 | 0.00 |
| 5 | 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 220.59 | 1.09 | 0.00 |
| 6 | 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 220.59 | 1.09 | 0.00 |
| 7 | 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 流通A股 | 197.16 | 0.97 | -188.01 |
| 8 | 中微半导体(上海)有限公司 | 流通A股 | 165.74 | 0.82 | 0.00 |
| 9 | 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 148.47 | 0.73 | |
| 10 | 深圳市创新投资集团有限公司 | 流通A股 | 146.35 | 0.72 |
| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 游利 | 流通受限股份 | 3242.43 | 16.02 | 0.00 |
| 2 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 2057.11 | 10.16 | -512.20 |
| 3 | 上海英瑞启技术咨询有限公司 | 流通受限股份 | 1874.47 | 9.26 | 0.00 |
| 4 | 靖江优正企业管理合伙企业(有限合伙) | 流通受限股份 | 1569.28 | 7.75 | 0.00 |
| 5 | 李欢 | 流通受限股份 | 1159.00 | 5.73 | 0.00 |
| 6 | XU ZIMING | 流通受限股份 | 812.17 | 4.01 | 0.00 |
| 7 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 550.47 | 2.72 | -19.94 |
| 8 | 靖江优合企业管理合伙企业(有限合伙) | 流通受限股份 | 492.48 | 2.43 | 0.00 |
| 9 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 292.70 | 1.45 | 0.00 |
| 10 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 流通A股 | 260.89 | 1.29 | 0.00 |
| 截止：2026-03-31 | |||
|---|---|---|---|
| 机构类型 | 家数 | 合计持股数(万股) | 合计持股占比 |
| 其他流通股 | 16198.49 | 80.04 | |
| 基金 | 3 | 1031.94 | 5.10 |
| 一般法人 | 6 | 3007.55 | 14.86 |
| 报告期 | 持仓数量（万股） | 占总股本比例(%) | 占流通股比例(%) | 持仓增减(万) |
|---|---|---|---|---|
| 2026-03-31 | 4039.49 | 19.96 | 37.28 | 17.39 |
| 2025-12-31 | 5029.04 | 24.85 | 46.41 | 22.28 |
| 2025-09-30 | 455.27 | 2.25 | 11.25 | -0.32 |
| 2025-06-30 | 1039.29 | 5.14 | 25.68 | 2.56 |
| 2025-03-31 | 646.69 | 3.20 | 17.00 | 0.62 |
| 2024-12-31 | 520.22 | 2.57 | 13.67 |
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