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| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 5502.67 | 19.57 | 0.00 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 3788.80 | 13.48 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 2051.63 | 7.30 | 0.00 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 512.05 | 1.82 | -170.72 |
| 5 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 508.16 | 1.81 | -70.87 |
| 6 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 490.15 | 1.74 | -289.23 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 流通A股 | 428.74 | 1.52 | -26.14 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 428.54 | 1.52 | 0.00 |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 317.57 | 1.13 | -14.62 |
| 10 | CHIANG CHIEN | 流通A股 | 270.36 | 0.96 |
| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 5502.67 | 19.57 | 0.00 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 3788.80 | 13.48 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 2051.63 | 7.30 | 0.00 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 512.05 | 1.82 | -170.72 |
| 5 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 508.16 | 1.81 | -70.87 |
| 6 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 490.15 | 1.74 | -289.23 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 流通A股 | 428.74 | 1.52 | -26.14 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 428.54 | 1.52 | 0.00 |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 317.57 | 1.13 | -14.62 |
| 10 | CHIANG CHIEN | 流通A股 | 270.36 | 0.96 |
| 截止：2025-09-30 | |||
|---|---|---|---|
| 机构类型 | 家数 | 合计持股数(万股) | 合计持股占比 |
| 其他流通股 | 11043.30 | 39.23 | |
| 基金 | 168 | 13810.51 | 49.17 |
| 一般法人 | 4 | 3262.58 | 11.60 |
| 报告期 | 持仓数量（万股） | 占总股本比例(%) | 占流通股比例(%) | 持仓增减(万) |
|---|---|---|---|---|
| 2025-09-30 | 16644.35 | 59.50 | 59.50 | 31.89 |
| 2025-06-30 | 22400.14 | 80.08 | 80.08 | 52.47 |
| 2025-03-31 | 7723.88 | 27.61 | 49.75 | 5.39 |
| 2024-12-31 | 8535.22 | 30.67 | 55.48 | 8.44 |
| 2024-09-30 | 8887.75 | 31.93 | 57.77 | 9.71 |
| 2024-06-30 | 12923.65 | 46.43 | 84.01 | 24.21 |
| 2024-03-31 | 5641.67 | 29.98 | 54.95 | 7.76 |
| 2024-03-11 | 4156.56 | 22.09 | 40.48 | -0.13 |
| 2024-03-01 | 4181.92 | 22.22 | 40.73 | -25.37 |
| 2023-12-31 | 8956.98 | 47.60 | 87.53 | 19.97 |
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