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| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 4659.18 | 16.48 | 0.00 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 3788.80 | 13.40 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 1777.87 | 6.29 | -133.66 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 1370.94 | 4.85 | 165.47 |
| 5 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 393.54 | 1.39 | -35.00 |
| 6 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 371.53 | 1.31 | -211.84 |
| 7 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 341.29 | 1.21 | -43.17 |
| 8 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 流通A股 | 297.12 | 1.05 | 37.51 |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 292.54 | 1.03 | -61.32 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 流通A股 | 235.97 | 0.83 | -33.48 |
| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 4659.18 | 16.03 | 0.00 |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 3788.80 | 13.03 | 0.00 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 1777.87 | 6.12 | 0.00 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 1370.94 | 4.72 | 0.00 |
| 5 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 393.54 | 1.35 | 0.00 |
| 6 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 341.29 | 1.17 | 0.00 |
| 7 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 326.79 | 1.12 | -44.74 |
| 8 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 流通A股 | 297.12 | 1.02 | 0.00 |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 276.16 | 0.95 | -16.38 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 流通A股 | 235.97 | 0.81 | 0.00 |
| 截止：2026-07-01 | |||
|---|---|---|---|
| 机构类型 | 家数 | 合计持股数(万股) | 合计持股占比 |
| 其他流通股 | |||
| 报告期 | 持仓数量（万股） | 占总股本比例(%) | 占流通股比例(%) | 持仓增减(万) |
|---|---|---|---|---|
| 2026-06-26 | 13528.76 | 47.86 | 47.86 | 20.24 |
| 2026-03-31 | 18013.77 | 63.80 | 63.80 | 36.19 |
| 2025-12-31 | 22537.61 | 80.16 | 80.16 | 52.55 |
| 2025-09-30 | 16644.35 | 59.50 | 59.50 | 31.89 |
| 2025-06-30 | 22400.14 | 80.08 | 80.08 | 52.47 |
| 2025-03-31 | 7723.88 | 27.61 | 49.75 | -4.32 |
| 2024-12-31 | 8535.22 | 30.67 | 55.48 | -1.27 |
| 2024-09-30 | 8887.75 | 31.93 | 57.77 | -14.50 |
| 2024-06-30 | 12923.65 | 46.43 | 84.01 | 16.46 |
| 2024-03-31 | 5641.67 | 29.98 | 54.95 | 7.89 |
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