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| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 河南京港股权投资基金管理有限公司-河南兴港融创创业投资发展基金(有限合伙) | 流通A股 | 19208.27 | 28.86 | -4.99 |
| 2 | 中电中金(厦门)智能产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 810.12 | 1.22 | 0.00 |
| 3 | GREEN EXPEDITION LLC | 流通A股 | 495.82 | 0.75 | 0.00 |
| 4 | 厦门市联和股权投资基金管理有限公司-厦门联和集成电路产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 474.28 | 0.71 | -90.19 |
| 5 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 454.61 | 0.68 | 223.70 |
| 6 | 厦门市联和股权投资基金管理有限公司-厦门联和二期集成电路产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 446.62 | 0.67 | -71.57 |
| 7 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 397.53 | 0.60 | |
| 8 | 计平 | 流通A股 | 280.00 | 0.42 | -22.36 |
| 9 | 孙东宏 | 流通A股 | 248.61 | 0.37 | -32.77 |
| 10 | 荣冠投资有限公司 | 流通A股 | 220.00 | 0.33 | 0.00 |
| 名次 | 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万股) | 持股百分比 | 增减(万股) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | SILICON TECHNOLOGY INVESTMENT (CAYMAN) CORP. | 流通受限股份 | 31962.41 | 48.03 | 0.00 |
| 2 | 河南京港股权投资基金管理有限公司-河南兴港融创创业投资发展基金(有限合伙) | 流通A股 | 19208.27 | 28.86 | -4.99 |
| 3 | 中电中金(厦门)智能产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 810.12 | 1.22 | 0.00 |
| 4 | GREEN EXPEDITION LLC | 流通A股 | 495.82 | 0.75 | 0.00 |
| 5 | 厦门市联和股权投资基金管理有限公司-厦门联和集成电路产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 474.28 | 0.71 | -90.19 |
| 6 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 454.61 | 0.68 | |
| 7 | 厦门市联和股权投资基金管理有限公司-厦门联和二期集成电路产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 446.62 | 0.67 | -71.57 |
| 8 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 397.53 | 0.60 | |
| 9 | 计平 | 流通A股 | 280.00 | 0.42 | -22.36 |
| 10 | 孙东宏 | 流通A股 | 248.61 | 0.37 | -32.77 |
| 截止：2026-03-31 | |||
|---|---|---|---|
| 机构类型 | 家数 | 合计持股数(万股) | 合计持股占比 |
| 其他流通股 | 43883.66 | 65.38 | |
| 基金 | 7 | 21791.44 | 32.75 |
| 一般法人 | 4 | 1244.43 | 1.87 |
| 报告期 | 持仓数量（万股） | 占总股本比例(%) | 占流通股比例(%) | 持仓增减(万) |
|---|---|---|---|---|
| 2026-03-31 | 23035.87 | 34.62 | 67.27 | 34.15 |
| 2025-12-31 | 25816.57 | 38.80 | 75.98 | 38.33 |
| 2025-09-30 | 23893.06 | 35.90 | 70.32 | 35.44 |
| 2025-06-30 | 26974.47 | 40.54 | 79.39 | 40.07 |
| 2025-03-31 | 24886.76 | 37.40 | 73.24 | 36.94 |
| 2024-12-31 | 327.51 | 0.49 | 5.82 | 0.03 |
| 2024-09-30 | 326.26 | 0.49 | 5.80 | 0.03 |
| 2024-06-30 | 381.07 | 0.57 | 7.29 | 0.11 |
| 2024-03-31 | 306.10 | 0.46 | 5.86 |
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